到那时候这专利也不再有独一无二。

咋办呢？

所以提光刻机的能是必备选项。

一吃个大胖不可能，再说现在的技术也远远没达到二十世纪末的标准。

极紫外光刻技术这个杀手锏与这个时代格格不入。

国内半导体设备想要发展，也得循序渐的来。

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